특허-다층박막법을 이용한 반도체 소자의 제조방법

특허등록일 : 2002.03.07

발명의 명칭 : 다층박막법을 이용한 반도체 소자의 제조방법 (Method of manufacturing semiconductor device usingmany layer thin film method)

대리인 : 특허맨(이종일변리사)

 

요약 :본 발명은 적외선 감지층으로 이용되는 다층 구조의 산화바나듐막(V 2 O 5 ) 제조 방법에 관한 것으로, 다층박막법을 이용하여 V 2 O 5 /V/V 2 O 5 의 샌드위치 구조를 증착한 후 저온 열처리를 통한 확산 공정에 의해 박막의 재현성 및 특성 조절이 용이하도록 하는 다층박막법을 이용한 반도체 소자의 제조 방법에 관한 것이다.

본 발명에 따르면, 기존의 제조 방식인 스퍼터링법을 이용한 단층의 산화바나듐 박막 제조방법이 스퍼터링 장비가 갖는 재현성의 한계 때문에 박막 특성의 재현성 확보가 어려웠으나, 스퍼터링 장비의 재현성 한계 내에서 제조 가능한 안정상 인 산화바나듐막과 바나듐금속막의 복합구조를 제조한 후 저온에서 열처리하여 확산시킨다.

따라서, 본 발명은 재현성 있고 우수한 적외선 흡수능을 갖는 혼합 바나듐산화 박막 제조가 가능하며, 적외선 감지소자의 성능을 향상시킬 수 있다.

대표청구항 :

반도체기판 상에 실리콘질화막을 형성하는 단계와;

상기 실리콘질화막 상에 제 1산화바나듐막을 적층하는 단계;

상기 제 1산화바나듐막 상에 바나듐금속막을 적층하는 단계;

상기 바나듐금속막 상에 제 2산화바나듐막을 적층하여 다층화하는 단계; 및

상기 결과물 상에 다층 박막의 안정화를 위한 저온 열처리공정을 실시하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 다층박막법을 이용한 반도체 소자의 제조방법. 

by 특허맨 | 2009/06/12 17:43 | 특허맨이등록한특허 | 트랙백 | 덧글(0)

특허-일체형 적외선 이미지소자 및 제조방법

특허등록일 : 2005.08.12

발명의 명칭 : 일체형 적외선 이미지소자 및 제조방법 (Ultra violet an image element of one body type and themanufacturing method)

대리인 : 특허맨(이종일변리사)

 

요약 :

본 발명은 초소형 3차원 수신안테나 어레이 구조의 일체형 적외선 이미지소자에 관한 것으로, MEMS의 여러 기술을 이용하여 3차원의 수신안테나 어레이 구조체를 형성한 후 이를 적외선 감지소자 어레이와 접합시켜 일체화된 형태의 적외선 이미지 감지소자를 제조함으로서 적외선 감지소자의 성능을 향상시킬 수 있는 일체형 적외선 이미지소자 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 일체형 적외선 이미지소자의 구조에 있어서, 자외선의 노광량을 정밀하게 조절하여 구조물에 균일한 경사를 줌으로서 형성된 혼 형태의 3차원 안테나 어레이와; 반도체기판 상에 형성된 적외선 감지소자와; 상기 적외선 감지소자 위에 3차원 안테나 어레이를 결합시킴으로서 지향성을 통해 불필요한 잡음 성분을 제거하며, 상기 3차원 안테나 어레이의 윗면적 만큼의 빛을 아래의 적외선 감지소자에서 동일하게 흡수하도록 하는 것을 특징으로 하는 일체형 적외선 이미지소자를 제시한다. 따라서, 본 발명은 기존의 마이크로웨이브 영역에서 사용되던 안테나들을 대체할 수 있으며, 고성능의 적외선 이미지소자 분야 및 마이크로 웨이브영역에서 사용되는 모든 초고주파 소자에도 적용할 수 있다.

 

대표청구항 :

일체형 적외선 이미지소자의 구조에 있어서,자외선의 노광량을 정밀하게 조절하여 구조물에 균일한 경사를 줌으로서 형성된 혼 형태의 3차원 안테나 어레이와|반도체기판 상에 형성된 적외선 감지소자와|상기 적외선 감지소자 위에 3차원 안테나 어레이를 결합시킴으로서 지향성을 통해 불필요한 잡음 성분을 제거하며, 상기 3차원 안테나 어레이의 윗면적 만큼의 빛을 아래의 적외선 감지소자에서 동일하게 흡수하도록 하는 것을 특징으로 하는 일체형 적외선 이미지소자.

by 특허맨 | 2009/06/12 17:42 | 특허맨이등록한특허 | 트랙백 | 덧글(0)

특허-다분할 촬영이 가능한 CCD 비디오카메라

특허등록일 : 2001.07.21

발명의 명칭 : 다분할 촬영이 가능한 CCD 비디오카메라 (CCD video camera which is able to multi-devisionphotographing)

대리인 : 특허맨(이종일변리사)

 

요약 :

본 발명은 다분할 촬영이 가능한 CCD 비디오카메라에 관한 것으로, 특히 화면분할기를 이용하지 않고서도 여러 목표물의 위치 촬영에 따른 영상 화면을 여러 개로 분할하여 하나의 모니터 화면에 표출이 가능토록 하는 기술에 관한 것이다.

즉, 1개의 CCD 비디오카메라에 다수 개의 CCD센서를 장착하여 동시 다발적으로 다수 목표물의 촬영이 가능토록 함과 더불어 촬영된 목표물 위치에 관한 영상을 1개의 모니터를 통해 다분할되어 표출되도록 한다.

따라서, 본 발명에 따르면, 종래 하나의 목표물 위치에 대한 영상만을 촬영할 수 있는 비디오카메라의 기능에서 탈피하여, 동시에 2분할 또는 4분할 촬영이 가능한 CCD 비디오카메라를 제공함으로서 서로 다른 방향의 목표물 위치를 촬영할때 이용되던 화면분할기의 사용이 필요치 않아 설치적 측면 및 경제적 측면에서 유리하다.

 

대표청구항 :

소정의 방향으로 각각 분할되어 목표물의 위치를 감지하는 CCD센서수단과;

상기 CCD센서수단이 동작하도록 개개의 CCD센서에 해당하는 타이밍펄스를 생성하는 타이밍펄스발생수단과;

상기 타이밍펄스발생수단으로부터 생성된 타이밍펄스의 신호에 따라 상기 CCD센서수단을 수평,수직방향으로 각각 구동하기 위한 수평,수직구동수단과;

상기 CCD센서수단으로부터 출력되는 영상 신호를 영상처리하는 비디오프로세서수단; 및

상기 비디오프로세서수단으로부터 출력되는 영상 신호에 따라 화면 상에 소정 분할되어 표시되는 모니터수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 다분할 촬영이 가능한 CCD 비디오카메라.

 

by 특허맨 | 2009/06/12 17:42 | 특허맨이등록한특허 | 트랙백 | 덧글(0)

특허-영상음성 전화기 시스템 및 그 통신 방법

특허등록일 : 2002.11.04

발명의 명칭 : 영상음성 전화기 시스템 및 그 통신 방법 ( Phone system using compressed image and voice data and method thereof on network)

대리인 : 특허맨(이종일변리사)

 

요약 :

본 발명은 영상을 출력하는 모니터가 부착된 영상 전화기와 영상과 음성을 처리하여 주는 서버 시스템에 관한 것이다.

본 발명은 기존의 종래의 전화기를 수신측 전화기로 수용하고 송신자 측에서는 서버에서 송출되는 영상을 보면서 음성 통신할 수 있도록 발명된 것이다.

송신측에서 출력되는 영상은 서버 시스템에서 저장하고 있는 영상 데이타를 압축하여 송신측에 전달되고 송신측에서는 이를 디코딩하여 모니터에 출력할 수 있다.

서버 시스템과 송신측 전화기 사이에는 디지탈 데이타가 오고 가는 데 이는 양단에서 모두 압축하여 만들어진 것들이며 음성 및 영상 데이타가 있다.

한편 송신측 전화기를 영상 전화기로 통칭하면 본 발명은 영상 전화기의 상세한 구조를 보여주며 영상 전화기에서 동작하는 원리를 알 수 있다.

 

대표청구항 :

네트워크상에서 영상 및 음성 데이타를 압축하여 제공하는 통신 시스템에 있어서,

서버 시스템으로부터 전달되는 영상을 디코딩하여 출력하는 모니터가 장착되며, 송신자가 네트워크를 통하여 서버 시스템으로 전화를 걸고 원하는 수신측의 전화번호를 입력하는 송신측 전화기(130)와,

상기 송신측 전화기(130)와 수신측 전화기(150)를 연결하여 주며, 송신측 전화기로부터 전화가 오면 송신측 전화기(130)에 저장된 영상을 전달하는 서버 시스템(100)과,

상기 서버 시스템(100)으로부터 전달되는 음성을 받게 되는 수신측 전화기(150)로 이루어진 것을 특징으로 하는 영상음성 전화기 시스템.

by 특허맨 | 2009/06/12 17:41 | 특허맨이등록한특허 | 트랙백 | 덧글(0)

특허-인터넷을 이용한 항공 및 해운 경매 방법

특허등록일 : 2002.08.13

발명의 명칭 : 인터넷을 이용한 항공 및 해운 경매 방법 (Aeroplane and marine transportation aution methodusing internet)

대리인 : 특허맨(이종일변리사)

 

요약 :

본 발명은 인터넷을 이용한 항공/해운 경매서비스 방법에 관한 것이다.

본 발명에서는 인터넷 통신수단을 구비한 화물 운송업자 단말과, 항공사 단말, 화주 단말과, 상기 각 단말과 인터넷을 통해 접속되는 운영자 웹사이트와 메일서버 및 각종 데이터를 저장하는 저장장치와 네트워크로 접속되는 운영자 서버를 구비한 인터넷 시스템에서, 상기 운영자 웹사이트에 회원으로 가입한 화주, 운송업자 및 항공사가 단말로 상기 웹사이트에 접속하여 경매등록, 경매현황검색, 경매참여 등의 일련의 과정을 수행하고, 상기 운영자 서버에서는 상기 회원의 업무수행을 수신하여 상기 웹사이트에 등록하고, 업무 흐름에 따른 데이터를 처리하여 경매 결과를 웹사이트에 표시함으로써 수행되는 인터넷을 이용한 항공/해운 경매서비스 방법이 제시된다.

 

대표청구항 :

인터넷 통신수단을 구비한 포워더 단말, 혼재사 단말, 항공사 단말, 화주 단말과, 상기 각 단말과 인터넷을 통해 접속되는 운영자 웹사이트와 메일서버 및 각종 데이터를 저장하는 저장장치와 네트워크로 접속되는 운영자 서버를 구비한 인터넷 시스템에서 항공 및 해운 화물 또는 스페이스 취급 방법에 있어서,

상기 포워더, 혼재사, 항공사 및 화주가 단말로 운영자 웹사이트에 접속하여 각각 회원 가입하는 단계와,

상기 회원이 단말로 접속한 상기 웹사이트에 경매 대상을 등록하는 단계와,

상기 회원이 등록된 경매에 대한 진행 현황을 상기 웹사이트에서 검색하는 단계와,

상기 회원이 단말로 웹사이트에서 경매에 참여하는 단계와,

상기 운영자 서버에서는 상기 회원의 단말을 통한 경매 등록, 경매참여 등의 업무처리 데이터를 수신하여 상기 웹사이트에 등록하고, 업무 흐름에 따른 데이터를 처리하여 경매 결과를 웹사이트에 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터넷을 이용한 항공 및 해운 경매 방법.

by 특허맨 | 2009/06/12 17:40 | 특허맨이등록한특허 | 트랙백 | 덧글(0)

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